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LRI
事業実績
300㎜ウエハ用の製造装置のソフトウェアを作成。 当時実例の少ない、工程が前後する2社間の装置を繋げて一つの装置として制御することを、 SECS-I/II/HSMS/GEMを短時間で載せて実現させました。
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