300mmウエハ製造システム
300㎜ウエハ用の製造装置のソフトウェアを作成。 当時実例の少ない、工程が前後する2社間の装置を繋げて一つの装置として制御することを、 SECS-I/II/HSMS/GEMを短時間で載せて実現させました。
| お客様 | 半導体製造会社様 |
| 使用スキル | VxWorks、C++、HSMS、GEM等 |
| 作業工程 | 提案/設計/製造/テスト |
| 開発規模 | |
| 業種 | 製造 |
| 開発環境 | VxWorks |
LRI
事業実績
Past Records
LRI
事業実績
300㎜ウエハ用の製造装置のソフトウェアを作成。 当時実例の少ない、工程が前後する2社間の装置を繋げて一つの装置として制御することを、 SECS-I/II/HSMS/GEMを短時間で載せて実現させました。
| お客様 | 半導体製造会社様 |
| 使用スキル | VxWorks、C++、HSMS、GEM等 |
| 作業工程 | 提案/設計/製造/テスト |
| 開発規模 | |
| 業種 | 製造 |
| 開発環境 | VxWorks |
