300mmウエハ製造システム

300㎜ウエハ用の製造装置のソフトウェアを作成。
当時実例の少ない、工程が前後する2社間の装置を繋げて一つの装置として制御することを、
SECS-I/II/HSMS/GEMを短時間で載せて実現させました。